Plasma Deposition of a-Si,Ge:H,F Thin Films from SiF4-GeH4-H2 Mixtures

Abstract
Data di Pubblicazione:
1987
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142489
Titolo del libro:
Abstracts Fall Meeting of the Material Research Society (MRS)