Deposition of Amorphous Silicon films from SiH4-H2 plasmas: Gas Phase Diagnostics

Abstract
Data di Pubblicazione:
1988
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142488
Titolo del libro:
Atti del Seminario di Chimica Inorganica