Deposition of Si-Ge alloys under plasma modulation conditions

Abstract
Data di Pubblicazione:
1991
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142470
Titolo del libro:
Abstracts 14th International Conference on Amorphous Semiconductors Science and Technology