Novel approaches to plasma deposition of amorphous silicon-based materials

Abstract
Data di Pubblicazione:
1991
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142462
Titolo del libro:
Proceeding of 10th International Symposium on Plasma Chemistry, (ISPC-10) IUPAC