Process for manufacturing a TFT device with source and drain regions having gradual dopant profile

Brevetto
Data di Pubblicazione:
2010
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142285