Procedimento per incrementare la stabilità termica di siliciuri su silicio

Patent

Publication Date:

2003

Iris type:

06.01 Brevetto di invenzione industriale

Keywords:

CoSi2; cavità; stabilità termica

List of contributors:

Alberti, Alessandra; LA VIA, Francesco

Authors of the University:

ALBERTI ALESSANDRA

LA VIA FRANCESCO

Handle:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142257