Quantitative electron energy loss spectroscopy of Si nanoclusters embedded in SiOx

Articolo
Data di Pubblicazione:
2007
Abstract:
[object Object]
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
EELS; EFTEM; PECVD; Si quantum dots; SRO
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/287708
Pubblicato in:
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Journal